武則天從此積極籌劃取代唐朝，自己做皇帝。她起用武氏家族，任命自己的內侄武承嗣、親信劉之為宰相，給諸武人物以大權，組建了新的最高統治核心，而睿宗居於別殿，完全聽命於武則天。武則天還派人逼迫李賢自殺，以防止他出來與自己對抗。
公元684年9月，高宗下葬後，武則天宣布改元光宅，改東都為神都，旗幟由黃色改為金色，官名和政府機構的名稱也一律更改。接著，由武承嗣出麵，請太後追尊其祖先為王，立武氏七廟。至此，完全擺出了一副改朝換代的架勢。
武則天改朝換代的舉措，最初遇到了一批失意官僚的反對。光宅元年（公元684年）九月，一批被貶的官吏以徐敬業（即徐茂公之孫）為首，在揚州集合，以匡複廬陵王為號召，發動叛亂。徐敬業來勢凶猛，還在由駱賓王起草的《討武曌檄》中，對武則天進行了尖刻的謾罵和攻擊。但是，叛亂很快被鎮壓下去，叛亂前後不過40日，範圍不出揚、潤、楚三州。
在平定叛亂的過程中，中書令裴炎要挾武則天交出政權，還政睿宗。當初幫助武則天取得最高發令權並廢黜中宗的宰相，至此已經成為武則天親自掌權的障礙。因此，統統被武則天以謀反罪下獄，其後被殺。牽連而貶和被處死的還有一些大臣，包括正在北邊抗禦突厥的左武衛大將軍程務挺等。
垂拱四年（公元688年）四月，武承嗣製造了一係列的祥瑞。五月，武則天下詔親自拜洛水，接著，給自己加尊號為“聖母神皇”，為公開稱帝作好了準備。
李唐宗室計劃起兵，豫州刺史越王李貞及其子博州刺史李衝，在匆匆起兵後很快被鎮壓下去。而武則天則在主觀上誇大了反對派的勢力，鼓勵告密、任用酷吏，任威刑以禁異議，大肆屠殺李唐宗室和內外大臣。正是在這種情況下，武則天稱帝的道路得以掃清。
永昌元年（公元689年）十一月初一，武則天大赦天下，宣布曆法改用周正，改元載初。又改造“天”、“地”等12個字，以象征新局麵的到來。載初元年（公元690年）九月初九，在上應天命、下順民意的氣氛中，武則天登上洛陽的則天門城樓，宣布改唐為周，改元天授，大赦天下。幾日後，武則天加尊號為“聖神皇帝”，以睿宗為皇嗣。
武則天在最後立皇嗣的問題上，也曾有過反複，但是她最終選擇了自己的兒子而不是侄兒接替自己的皇位，再一次說明，直到晚年，武則天仍然充滿智慧，也無怪她能以女兒之身登臨大寶。
武則天做了15年的皇帝，除了因為幾個時期的酷吏政治造成的緊張氣氛外，由於她能夠在政治上破格用人，在經濟上注意恢複和發展生產，對地主兼並土地和農民逃亡采取審慎甚至是寬容的方針，社會形勢非常穩定，長時期內政局也沒有出現大的動蕩。
前無古人，後無來者，武則天能夠創造中國曆史上的這獨一無二的奇跡，並不偶然。創造機會，把握機會，果斷行事，再加上一個聰明的頭腦，是她成功的最根本保障。
無過錯的“昏君”——非議唐玄宗
判斷一個政治人物的優劣，不能脫離他的時代背景來看，唐玄宗是一個守業之君，在開疆拓土上的作為比不上唐太宗是很正常的事，你不能僅憑這一點就判斷他不如唐太宗。唐太宗主要的任務是建立國家、鞏固國家，而唐玄宗主要的任務則是撥亂反正（武後，韋後之亂），使國家富強。“開元盛世”這個曆史名詞的超高知名度，足以說明唐玄宗在他的本職工作上交了一份完美的答卷，僅憑這一點，我們就必須公平地承認：唐玄宗是曆史上少有的好皇帝之一。
有人認為唐玄宗後來的昏庸，導致了安史之亂的發生。
唐玄宗在位時，為了加強邊境的防禦，在重要的邊境地區設立了十個藩鎮，藩鎮的長官叫節度使。節度使統領軍隊，還兼管行政和財政，權力很大，地位很重要。按照當時的慣例，節度使立了功，就可能被調到朝廷當宰相。