60年代中期，越南戰爭越演越烈。由於越南軍隊大量使用蘇製薩姆地空導彈和雷達控製的高炮，戰鬥機也加裝了空空導彈，使美軍飛機受到致命的威脅。戰事的需要加速了美軍專用電子戰飛機的發展。1966年，美國海軍陸戰隊將A－6A攻擊機改裝成EA－6A專用電子戰飛機。該機裝有當時性能最好的幹擾機和接收機。同一年，美軍又在越南戰場上使用了AGM－45“百舌鳥”反雷達導彈。“百舌鳥”由F－4C和F－105G戰鬥機攜帶，專門攻擊越南軍隊裝備的蘇製薩姆－2地空導彈的製導雷達。這種攻擊雷達的行動被稱為“野鼬鼠”行動，而攜帶反雷達導彈的飛機也因此被稱作“野鼬鼠”飛機。由於EA－6A和“野鼬鼠”飛機的使用，使越軍防空導彈和高炮的命中精度大為降低。據美軍統計，1965年越南軍隊隻需發射10枚防空導彈就可擊落一架美軍飛機，而到1966年，則需發射70枚導彈才能擊落一架美軍飛機。
嚐到電子戰甜頭後，美軍愈發加大了發展電子戰飛機的力度。1971年，美軍在EA－6A的基礎上，又研製出EA－6B專用電子戰飛機。該機裝有第一種機載綜合戰術幹擾係統，可對敵方的雷達和通信係統實施幹擾破壞。戰術幹擾器裝在外掛的吊艙中，機內裝有雷達截獲接收機、計算機和顯示器。機上共有5個外掛架，最多可掛9個幹擾吊艙、5個錫箔條艙和4枚AGM－88“哈姆”高速反雷達導彈。其最大特點是，既是電子幹擾飛機，又是反雷達飛機；既能對敵方進行“軟”殺傷，又能使用反雷達導彈對敵方實施“硬”摧毀。
70年代，美國在電子戰飛機的研製方麵繼續領先，並於1975年研製成功EF－111A電子戰飛機。該機由美國的F－111戰鬥轟炸機改裝而成，1981年正式交付部隊使用。EF－111A是美軍現役最先進的超音速電子對抗飛機，幹擾能力極強。該機裝有先進的電子設備，其核心部分是AN／ALQ－99戰術幹擾係統，其作用可使230公裏內各個方向的敵方雷達迷盲；並可遂行遠距、近距支援幹擾和伴隨幹擾，是目前世界上惟一的一種能夠同時執行上述3項任務的專用電子戰飛機。在戰場上，如果警戒接收機收到威脅信號，幹擾機就會自動轉入預定程序工作，施放相應幹擾，並把整個幹擾狀態顯示在電子戰軍官座位前的顯示器上。幹擾過程中還可根據所受威脅的大小，能自動對威脅最嚴重的電磁頻率予以優先幹擾。該機最大飛行速度2216公裏／小時，轉場航程3706公裏。此外，美國還將C－130H運輸機改裝成EC－130H電子幹擾機，主要用於幹擾敵方的通信係統。
作為另一軍事大國的蘇聯，在電子戰飛機的研製方麵也多有建樹。1968年，蘇聯入侵捷克斯洛伐克時，曾使用飛機投撒氣溶膠幹擾物，使西歐國家的雷達熒光屏出現一片“白霧”，引起西方的震驚。蘇聯的第一種專用電子戰飛機是由雅克－28輕型轟炸機改裝而成的雅克－28E。該機於1970年裝備部隊。此外，蘇聯還曾研製出E／D電子偵察機、金屬屑撒布幹擾機、電子偵察幹擾機、伊爾－14和伊爾－20電子偵察機等。蘇聯在研製電子戰飛機的同時，也研製成功了AS－5、AS－9、AS－11、AS－12等反雷達導彈。反雷達導彈可由蘇－24、等飛機攜帶，攻擊並摧毀敵方雷達。
隨著一些高性能的電子戰飛機的問世，電子戰已由過去的一種保障措施，變成現代戰爭中必不可少的作戰行動。特別是從80年代以來的局部戰爭中可以看出，能否奪取製電磁權，已經成為影響戰爭勝負的重要條件。