無塵室汙染的來源是人、材料及各種活動。簡要地列出了大部分汙染的來源和類型。
10.2.1人是無塵室內最大的汙染源
人是無塵室內最大的汙染源，因為人類在不斷的新陳代謝，皮膚的最外一層總是在不斷地脫落，並被新的一層所替代是一個自然的過程，而已脫落的皮膚細胞就會從人體上掉落下來。平均來說，一個人每天大約要掉落出20億個塵粒(皮屑微粒)。為盡量防止這些皮屑微粒汙染無塵室，每個在無塵室中工作的人員都務必要穿著無塵衣。
當有人員進入無塵室時，汙染的程度會大大地提高。人們在靜止時，每分鍾身上可掉出幾十萬顆肉眼看不見的微粒。如果人們稍做適當的運動，該數目會上升到每分鍾大約一百萬顆。因此，人們不時地進出無塵室是汙染的最大原因之一。
表示無塵室在24h內的微粒數。
10.2.2無塵室內禁用的材料
有一些材料是不能夠在無塵室內使用的，原因是這些物品或材料引起太多的塵粒，以致無法維持無塵室的塵粒等級。
在小於100000塵粒等級的室內，禁止存在的材料包括紙類、棉類、碳類、草類、石灰類、木材類等材料，但不包括由部門專門配發的清潔用的紙和布。
所禁用物品有鉛筆、橡皮擦等，但許可的圓珠筆、紙張、手帕和食物等物品除外。
10.2.3無塵室內的活動
由於人是無塵室最嚴重的汙染源，所以一個人的舉止必須遵守一些規定，從而將產生的不良影響限定在最小的範圍內。
（1）十分注意自己的舉止及運動
每個人都有一些習慣動作，我們在無塵室內必須有意識地去控製它。比如把一張紙揉成一團、用手指輕叩桌子、揉搓皮膚、拍某人的肩膀、搖晃腿、在物體上畫圖等，這些動作都是一些人的習慣動作，但每一動作都會引起塵埃，所以某個動作如果不是真正需要的，就不要去做。
例如，一個靜止站立的人，每分鍾大約要落下100000顆微粒；一個人慢慢走動並不做大幅度動作，每分鍾大約要落下2000000顆微粒；一個人快速走動或做大幅度動作，每分鍾大約要落下10000000顆微粒。雖然無塵衣阻止了大部分的皮屑顆粒，但是不可能阻止全部。此外，我們在移動時，也攪動了無塵室現存的塵粒。
由此可見，一個動作或移動越是劇烈，所引起和帶動的塵粒越多。因此，在無塵室內動作緩慢就顯得特別重要。
（2）盡量避免與地麵接觸
下降氣流使所有現存的塵粒被吸向下麵，從而使地麵成為整個無塵室中塵埃最多的部分。因此，在有關無塵室衣著標準要求中，工作人員在穿或脫無塵衣時，其褲腿始終不能碰到地麵；若手套掉在地上，必須立即換用新的手套；當一定要從地麵上拿取東西時，必須以蹲的姿勢來拿，而絕不能采用坐、躺或跪的動作。
（3）無塵室內禁止的行為
無塵室內禁止的行為有：
① 吃喝（專用咖啡室除外）；
② 吸煙；
③ 化妝；
④ 梳頭；
⑤ 打印機、標繪器等設備所出來的東西，不可被撕下，隻能切裁下來；
⑥ 移動辦公用具（櫃子、桌子）；
⑦ 進行機械操作（銼、鑽孔、鋸、砂磨等）。
10.2.4防止無塵室汙染的措施
為防止無塵室被汙染，可以采取以下措施：
① 過濾進入室內的空氣。
② 空氣的輸入速度是經過控製的。
③ 空氣是通過層流(laminar air flow)工作台來流動的，從而使空氣流動非常平穩。
④ 在無塵室和外界之間必須有一個緩衝的氣密室，作為清潔的用途。無塵室的每一個入口都有氣密室，一類氣密室是專供設備進入之用，一類則是供人員出入之用。
⑤ 為材料的進入設立清洗裝置。
⑥ 工作人員進入無塵室需更換無塵衣。
⑦ 工作人員必須遵守無塵室紀律(行為準則和規定)。
⑧ 遵守無塵室嚴格的工作程序。