【學習目的】1.了解無塵室的含義及無塵室的等級標準。
2.了解無塵室汙染的來源。
3.掌握無塵室的操作要求。
【操作項目】參觀企業無塵室，並寫一份無塵室的調查報告。
無塵室(Cleanroom),亦稱為潔淨室或淨化室，是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等汙染物排除，並將室內溫度、濕度、潔淨度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪聲、振動、照明、靜電控製在某一需求範圍內所特別設計的房間。亦即是不論外在空氣條件如何變化，其室內均能維持所設定要求的潔淨度、溫濕度及壓力等性能。
無塵室的主要作用在於控製產品(如矽芯片等)所接觸之大氣的潔淨度以及溫濕度，使產品能在一個良好的環境空間中生產、製造。
無塵室用於集成電路(芯片)的生產、高價值設備的裝配等方麵，同時也用在醫院，如器官移植等。
無塵室有不同的等級，通常是根據每立方英尺(28L)空氣中所含塵粒的數目而定的。無塵室等級分類如下：
等級100000：每立方英尺最多含有100000個0.5μm及以上的顆粒。
等級10000：每立方英尺最多含有10000個0.5μm及以上的顆粒。
等級100：每立方英尺最多含有100個0.5μm及以上的顆粒。
等級1：每立方英尺最多含有1個0.5μm的顆粒。
室外的空氣一般含有幾百萬顆不同尺寸的塵粒，而0.5μm的塵粒是非常小的。在普通的光線下，用肉眼看不到小於20μm的顆粒。一個灰塵顆粒並非因為它是“固體”物質而被定義，而是因為它是某種物質，它同樣可能是液體或氣體。