“第四塊兒是光阻塗布 。說實在的，這塊兒很重要。晶圓上微米厚度等級的光阻，是采用旋轉離心（spin-coating）的方式塗布上去。其典型程序包括：晶圓表麵前處理：即在150°C下烘烤一段時間。若表麵無氧化層，要另外先上助粘劑，如HMDS，再降回室溫。換言之，芯片表麵在塗敷光阻前要確保是親水性。第二步是送晶圓上真空吸附的轉台，注入光阻，開始由低轉速甩出多餘的光阻並均布之，接著以轉速數千轉每秒，減薄光阻至所需厚度。第三步將晶圓表層光阻稍事烤幹定型，防止沾粘。但不可過幹過硬，而妨礙後續的曝光顯影，這也是個度的問題，需要你們去反複實驗，不可能一蹴而就，這沒有一個固定的標準。一般光阻塗布機的塗布結果是厚度不均。尤其在晶圓邊緣部份，可能厚達其它較均勻部份的光阻3倍以上。另外，為了確保光阻全然塗布到整片晶圓，通常注入光阻的劑量，是真正塗布粘著在晶圓上之數十甚至數百倍，極其可惜；因為甩到晶圓外的光阻中有機溶劑迅速揮發逸散，成份大變，不能回收再使用。第五塊兒也就是最後一塊兒是厚光阻。德國Karl-Suss公司開發了一種新型的光阻塗布機，稱為GYRSET。他們正在向我們推銷，據他們自己說的其賣點在於可減少一半的光阻用量，且得出更均厚的光阻分布。其原理極為單純：隻是在真空轉台上加裝了跟著同步旋轉的蓋子。如此一來，等於強迫晶圓與蓋子之間的空氣跟著旋轉，那麼光阻上便無高轉速差的粘性旋轉拖曳作用。故光阻在被塗布時，其與周遭流體之相對運動並不明顯，隻是離心的徹體力效果，使光阻穩定地、且是呈同心圓狀地向外塗布。”
“好啦，時間也差不多了，這身行頭穿著也有一定的分量，先生們，請隨我離場吧。”張國棟真懷疑這家夥是個德國人，要知道這世界隻有嚴謹得像鋼條的德國人才會把時間恰得這麼準，完全沒有超過一分鍾。
盡管還有點意猶未盡，但張國棟知道，這已經是人家給了虞有程天大的麵子了，如果不是虞有程，就張國棟這種單單的一個合作夥伴身份，那絕對不可能讓他們參觀得這麼仔細的。雖然沒有得到一個字的資料，但是這一行大大的開了龍騰科技的這些骨幹的眼界。人說眼界決定一切，從此以後龍騰科技開始告別那種作坊式的科研和生產方式，徹底走入現代化，可以說這趟Intel之行還是大大的有功的！
從Intel出來，已經是中午十一點多快十二點了，這個時候還沒到後世美國垃圾食品占據中國主流市場的年代，所以這些人可是一百個吃不慣美國食品的，好在有華人的地方就有唐人街，雖然沒有洛杉磯這樣的主流唐人街熱鬧，但好歹找到那麼個中餐館還是不難，所以張國棟就帶著這麼一大群人浩浩蕩蕩的殺向唐人街，幸虧他們中是老的老，小的小，而且還有些是步履蹣跚，否則還指不定讓人誤會成黑社會呢。
按道理Intel是管飯的，不過他們以吃不習慣為借口給出來了，畢竟談合作是老板張國棟的事情，和他們這些技術人員是屁事兒也沒關，如果張國棟是個一點技術也不懂的老板他們說不定還得在旁邊指點一下，以防被騙。可現在這小屁孩兒是啥都懂，而且往深度上走張國棟也是厲害非常，人家說事有反常必有妖，可張國棟這小子比妖還厲害，也就由不得他們這群平常鼻孔朝天的家夥不佩服了。
中餐館的老板眼見來了這麼大一群同胞，俗話說得好，老鄉見老鄉，兩眼淚汪汪，可是他們這樣的人什麼沒見過，自然不會一見老鄉就淚汪汪了，可是激動還是難免的，催促夥計的聲音都大了一些。這麼大一群人湧入，讓中餐館這種理論上小本經營的地方一下子滿了起來。張國棟前世也在美國呆過，自然能夠理解這樣一種激動的心情。正好隊伍裏麵也有四川人，這讓老板一口子川話就丟了出來。(未完待續，如欲知後事如何，請登陸www.qidian.com，章節更多，支持作者，支持正版閱讀！)