小白同誌給張國棟他們一口氣介紹了這麼多也算難得了，雖然在關鍵地方語焉不詳，以及習慣性的跳躍省略，但結合著麵前充滿了現代化美感的設備和廠房，倒也讓龍騰一幹技術人員咋舌不已，原來以前真的是坐井觀天了。很多人在加入龍騰科技前，在國家的什麼叉叉研究所，那條件，實在是。雖然毛主席時期中國的半導體產業曾經一度拉小自己跟世界先進國家的差距，可是就像中國造原子彈一樣，都是在極其簡陋的環境中生產過來的實驗室產品，對於這種大規模應用，造出來的東西就嚴重的缺乏市場競爭力。
“好啦，時間也差不多過去了兩個小時了，頭兒吩咐給我的是三個小時，你們說說還想了解一些什麼技術和設備？”雖然說心理有點不耐煩，但小白還是有點職業道德的，所以對於自己上司說的三個小時那是絕對不敢打折扣的。
張國棟他們稍微的討論了一下，最後還是由張國棟決定看微影得了，畢竟有的東西可能讓他們看到了Intel也不會說明，張國棟還沒有神奇到隻需要看一眼就知道相關技術，他知道這麼多還是前世他當Intel的技術指導時乘機了解的，但他也不是萬能的啊。
“OK，你們選擇了微影，那麼接下來我會分為五塊來介紹它。第一塊兒自然是正負光阻了。其實微影光蝕刻術起源於照相製版的技術，這個我就不多作介紹，相信很多資料上麵都可以查找得到。自1970年起，微影光蝕刻術開始大量使用於半導體製程之圖形轉寫複製中。原理在我們現在看來是特別簡單的，利用對紫外線敏感之聚合物，或所謂光阻之受曝照與否，來定義該光阻在顯影液中是否被蝕除，而最終留下與遮掩罩幕，即光罩（mask）相同或明暗互補之圖形；相同者稱之正光阻，明暗互補者稱之負光阻(negative resist)。一般而言，正光阻，其分辨率及邊緣垂直度均佳，但易變質，儲存期限也較短，大約半年到一年之間，常用於學術或研發單位；而負光阻之邊緣垂直度較差，但可儲存較久，常為半導體業界所使用。當然我這也隻是一個建議，至於具體要如何用，當然得看你們自己了。第二塊兒就是我剛剛提到過的光罩。
光罩製作，是微影的關鍵技術之一。光罩製作的方式已經經過了幾十年的演進。最開始的時候是由分辨率極差的縮影機技術，改良為直接以計算機輔助設計製造軟件控製的雷射束或電子束書寫機，在具光阻之石英玻璃 板上進行書寫 (曝光)，分辨率 (最小線寬) 也改進到微米的等級。當然我們也得感謝軟件技術的發展，據我所知，張先生的公司也是世界上最出名的獨立軟件公司之一吧。”開來小白同誌也不是完全的小白，好歹他還是知道這是由在Intel獲得廣泛尊敬的虞有程先生介紹過來的，得罪人也不能得罪得太狠，幸虧那還用過壓縮軟件，知道麵前這位就是壓縮霸王的掌門人，不大不小的拍了個馬匹。
雖然人家表揚的是軟件事業部的同仁，和他們硬件事業部扯不上半點關係，但好歹也是一個公司的，被打擊了這麼久，好不容易****一回，這些家夥終於是驕傲的昂起了頭，連幾個老家夥都一樣，這也讓張國棟不由得苦笑起來，這些家夥啊，真是給了一點陽光就燦爛。
“第三塊兒就是對準機了。其實 在學術或研發單位中，電路上布局是非常簡易的，一套電路布局可全部寫在一片光罩中，甚至可以多次多重複。加上加上學術上使用矽晶圓尺寸較小，配合使用的光罩本來就不大。所以搭配使用的矽晶圓曝光機台為一般的光罩對準機，而且據我們Intel自己的研發人員說效果還是蠻不錯的。當然，換句話說，一片晶圓隻需一次對準曝光，便可進行之後的顯影及烤幹程序，當然隻是一種簡化的程序和步驟，但是效果還是很不錯的。不過在我們業界中，使用的晶圓那要比學術上的大得多，學術上用的晶圓片幾乎就是我們的下腳料。當然，光罩的大小一般是固定化的，我們不可能任意造出5寸或11寸大小的光罩來進行對準曝光：一來電子束書寫機在製備這樣大的光罩時，會耗損巨量的時間，極不劃算；二來，大麵積光罩進行光蝕刻曝光前必須要與晶圓對準，要知道大麵積精密定位及防震等問題，在業界看來是極為棘手的，為此所耗費的花費也是極大和極不劃算的！所以我們工業界一般采用步進機進行對準曝光；也就是說，即使晶圓大到6寸或8寸，但光罩大小還是隻需要小小的1~2寸見方。這樣做有明顯的優點，一來光罩製備快速，二來小麵積對準的問題也比較少；隻是要曝滿整片晶圓，可能要往複花上數十次對準→曝光→移位的重複動作。但即便如此，由於每次對準→曝光→移位這個過程僅費時1秒左右，一片晶圓的總曝光時間仍控製在1分鍾以內，而保持了工廠的高投片率 (high through-put；即單位時間內完成製作之矽芯片數。）雖然不知道貴廠的晶圓是幾寸的，但是我覺得你們最好還是一開始就使用步進機，畢竟也可以為後麵積累一點經驗。”小白同誌是難得的說了幾句誠懇話，不過他說得也確實有道理，雖然龍騰一下子上馬6寸的項目有困難，但就像小白說的一樣，經驗！設備的使用也是需要經驗的！張國棟認同的點了點頭，主管晶圓的屠紅剛博士那雙眼睛又開始發起光來，本來自己手下的都去龍晶電子去實習了讓他這個光杆司令是很不爽的，不過在聽說張國棟要重新建設一座新的晶圓廠後他馬上開心了起來，以後自己也就是一方諸侯了，現在又聽說要買好設備，他當然高興！