據我們掌握的已有的資料來看，在漢代的時候，“甚”和“至”就已經連用了。但是“甚”還是副詞，“甚至”仍是短語。例如：
（1）孔子葬母於防，既而雨甚至，防墓崩。（漢《論衡》）
例（1）“甚至”的意思是“下得很大，到來了”。
到了晉代，仍是短語。例如：
（2）鎮西謝尚所乘馬忽死，憂惱甚至。（晉《搜神記》）
例（2）“甚至”的意思是“（憂惱）很多一齊湧來”。
到了元代，“甚至”已經有了副詞的用法，但還沒有轉化為連詞。例如：
（3）元統間，杭州監倉宋監納者，嚐客大都，求功名不遂，甚至窮窘。（元《南村輟耕錄》）
（4）有子三歲，愛惜甚至。（元《南村輟耕錄》）
例（3）“甚至”的意思是“甚而至於”。例（4）“甚至”意思是“（愛惜）得很”。
作為連詞大量出現的是到了明代以後。例如：
（5）自今士夫欲倚權門，先交歡僮仆，甚至投刺稱號，卒以此敗。（明《晏林子》）
（6）前代文武官皆得用官妓，今挾妓宿娼有禁，甚至罷職不敘。（明《賢奕編》）
（7）郭興言疏略雲：“魏忠賢矯傳中旨，令各部該司，閱視工程。每至工所，大言無忌，非曰某官當外轉，某官當留用，則曰某兵馬當調遣，某錢糧當那借。甚至當以票紅本帶出，從閣臣改票。”（明《玉鏡新譚》）
例（5）、例（6）、例（7）“甚至”的意思是“甚而至於”，與當今的意思“提出突出的事例（有更進一層的意思）”已經比較接近了。
到了清代，作為副詞和作為連詞的“甚至”並行運用。這在《日知錄》同一部著作中有所顯示：
（8）至是其母卒，時已除奔喪之製，德文懇請甚至，上特憐而許之。（清《日知錄》）
（9）聞久住客邸者，日有所費，甚至空乏，假貸於人，其元之弊政，此亦一端。（清《日知錄》）
例（8）“甚至”意思是“非常”，是副詞。例（9）“甚至”的意思與當今“提出突出的事例（有更進一層的意思）”基本相同了。
在清代其它的著作中已經有了多種用法。例如：
（10）年四十餘，生一子，溺愛甚至。（《聊齋誌異》）
（11）想父母在家，若隻管思念女兒，竟不能見，倘因此成疾致病，甚至死亡，皆由朕躬禁錮，不能使其遂天倫之願，亦大傷天和之事。（《紅樓夢》）
例（10）“甚至”意思是“得非常（厲害）”，是副詞。例（11）“甚至”的意思與當今“提出突出的事例（有更進一層的意思）”基本相同了。
7.2真實文本統計“甚至”作為連詞和副詞的使用表顯示如下：
作品 副詞 連詞
《紅樓夢》28 0 28
《金瓶梅》2 0 2
《今古奇觀》3 0 3
《搜神記》 1 0
《鏡花緣》14 0 14
《聊齋誌異》10 8 2
《世說新語》3 3 0
《初刻拍案驚奇》2 0 2
《二刻拍岸驚奇》2 0 2
到了清代，“甚至”已經和“不但…，並且…”連用，形成多級遞進格式。例如：
（12）倘不下腰，不下氣，一股力氣全堆胸前，久而久之，不但氣喘心跳，並且胸前還要發痛，甚至弄成勞傷之症。（《鏡花緣》）
到了民國以後，甚至就和“不憚”連用，表示遞進。例如：
（13）國朝沈歸愚尚書有曰：“昔歐陽文忠公之好士也，士有一言之合乎道，不憚數千裏求之。甚至過於士之求公。”
由以上可以看出“甚至”的語法化曆程有以下幾個特點：
1、由短語發展為副詞，由副詞發展為連詞。“甚至”完成由短語至副詞，最後成為連詞，經曆了從明至近代約500年，其語義的發展軌跡也十分明顯：“甚而至於——特別是——至於”。
2、這一過程是由“非常”與“到”兩個詞“雨甚至”“憂惱甚至”逐漸發展變化為副詞，“甚而至於”、“甚至窮窘”，最後發展為連詞“這種病不但在山區流行，甚至在大城市也時有發生。”
3、由“不僅…，甚至…”二級句，發展為“不但A，而且B，甚至…”這種三級遞進範疇的標準句式。這種句式使範疇化的語義表達的容量更為擴大，遞進範疇也更為精細。