工業生產中經常需要打掃一些元件、生產工具上微粒和附著物,激光是很好的“清道夫”。在歐洲,航空工業早就用上了激光清洗技術。飛機的表麵經過一定時間後要重新噴漆,但是噴漆之前需要將原來的舊漆完全除去。傳統的機械清除油漆法容易對飛機的金屬表麵造成損傷,給安全飛行帶來隱患。采用激光清洗技術,可在兩天之內將一架A320空中客車表麵的漆層完全除掉,且不會損傷到金屬表麵。科學家還將激光清洗技術應用於核電站反應堆內管道的清洗。采用光導纖維將高功率激光束引入反應堆內部,清洗下來的物質呈粉末狀態,體積小,易處理。而且,激光清洗可以遠距離操作,更是可以確保操作人員的安全。
隨著磁盤記錄密度的增加,讀寫磁頭與磁盤之間的距離不斷縮小,磁頭在盤麵上的滑行高度已達0.1微米以下。即使是次微米級的塵粒都會使磁頭滑塊和磁盤損傷,而且這種損傷占相當大的比例。傳統的清洗方法是采用超聲波,需要采用一些化學溶劑,它們對環境有害,而且也無法清洗掉次微米級的塵粒。清洗完畢後,工件的幹燥也是一個問題。采用激光清洗技術,可以避免上述問題。試驗的結果顯示,在不損傷工件的前提下,能清洗掉90%的鋁粒子和全部清洗掉錫粒子,清除率極高。同時,不影響磁頭頂尖的形狀、粗糙度和磁頭的逆行等性能,保證了磁頭的精度。這說明激光清洗比超聲波清洗技術優越,能夠獲得更高的清潔度,以及更高的清洗效。
隨著集成電路的飛速發展,芯片中集成的元件數量越來越多,密度越來越大,連線之間的距離越來越小。光刻技術現已經達到0.15微米以下的線寬水平,在亞微米集成電路中,1微米大小的顆粒便會造成電路失效。在往後的發展中,0.015微米大小的顆粒也會造成電路失效,甚至會使集成電路的成品率下降50%。所以,清洗芯片顆粒的技術是集成電路能否深入發展的關鍵技術環節之一。目前的各種傳統清洗技術中精度最高的是超聲波清洗技術,但它也無法清除掉微電子產品中的次微米級(0.5微米以下)的塵粒。此外,該方法也需要用到清洗劑,容易給芯片造成再氧化。科學家現在都看好激光清洗技術,大概隻有這種技術能夠勝任精度如此高的清洗工作。